第一六七九章第二家新能源汽車生產基地
“林院長，同浸冇式光刻機配套的浸冇式雙工作台係統能否同時量產並交付使用？”
蔡力行明白林本堅是為了安慰張仲謀，台積電和ASML合作研發浸冇式光刻機的業務，張董事長交給了林本堅，直接向他彙報，有些細節蔡力行也不清楚。
董事長兼CEO張仲謀負責台積電的戰略發展和重要投資，總經理蔡力行負責台積電的日常經營管理，副總經理兼研究院院長林本堅負責台積電的技術，副總經理劉德銀負責生產，副總經理魏哲加負責銷售。
ASML的主營業務是研製和銷售ASML光刻機和ASML雙工作台係統，不生產和銷售半導體生產線中的其他設備，即使ASML65nm製程浸冇式光刻機量產，配套的刻蝕機、離子注入設備、薄膜沉積設備、熱處理設備、晶圓切割設備、CMP設備、半導體檢測和量測設備、半導體清洗設備、半導體測試設備等都需要台積電想辦法解決，最後完成係統整合，即使台積電已經開工建設，但等65nm製程浸冇式光刻機到位後，還需要半年多的時間配套、調試和係統整合，2006年3月能夠量產就不錯了，可能比聯電晚半年左右。
如今全球能夠完成65nm製程半導體生產線配套的光刻機廠商隻有BSEC。
Intel、AMD和聯電為了搶時間，直接從BSEC預定全套半導體生產線，開工建設，BSEC負責安裝、係統整合、培訓員工和售後服務，雖然多花錢，但省時省力。
“蔡總，浸冇式與乾式光刻機的雙工作台係統雖然在覈心架構上存在部分相容性，但受製於技術特性差異，無法通用，ASML雙工作台係統研究實驗室隻能等明年3月拿到量產的浸冇式光刻機後，才能在90nm製程乾式雙工作台係統基礎上，升級改造成65nm製程浸冇式雙工作台係統，能否在明年8月前量產？誰也不能肯定？這也是我最擔心的。”
林本堅雖然冇有參加過ASML雙工作台係統的研發，但他知道，浸冇式同乾式雙工作台係統有很大的差彆。
浸冇式雙工作台的表麵塗層需具備抗腐蝕性，以應對長期接觸浸潤液體的工況；液體流動產生的微振動要求浸冇式雙工作台具備更高頻的主動減振能力；浸冇式雙工作台對運動精度要求呈指數級提升；浸冇式雙工作台需重新校準光學與運動控製係統……
林本堅這次私下問過ASML雙工作台係統研究實驗室主任瓊斯，對方預計，將現有的90nm製程乾式雙工作台改造為65nm製程浸冇式雙工作台，需要增加30%左右的硬體成本，軟件也需要重新升級，最少需要半年的時間。
ASML光刻機研發中心雙工作台係統研究實驗室有50多名研發人員，瓊斯也不敢肯定6個月就能解決這些難題。
林本堅懷疑，BSEC光刻機研究院去年就研發成功浸冇式光刻機。
林本堅還擔心，即使ASML升級改造成功65nm製程浸冇式雙工作台係統，能否達到BSEC65nm製程雙工作台係統同樣的效能？
1996年9月，瓊斯帶領20多人的研發部門經過3年多時間的研發，研發成功全球第二款具有自主知識產權的光刻機雙工作平台係統。
當時，ASML和其他光刻機公司（除了GCA）付給每台相當於售價1%的專利費，購買BSEC雙工作台係統專利技術，自己生產雙工作台係統，BSEC負責硬體和軟件升級。
BSEC每代製程的雙工作台係統由GCA或BSEC負責升級，免費交給光刻機廠升級改造，通過晶圓廠常年使用，多方不斷糾正硬體和軟件中出現的缺陷和BUG，不斷完善。
“蔡總，我們要求ASML出廠的浸冇式光刻機繼續配套BSEC浸冇式雙工作台係統。”
ASML一直對外宣稱在高階光刻機上配套BSEC雙工作台係統，在中低端光刻機上配套ASML雙工作台係統，雖然早也升級到90nm製程雙工作台係統，但硬體和軟件的故障率明顯高於BSEC，導致大多數晶圓廠購買ASML光刻機時，明確要求配套BSEC雙工作台係統，寧可多付錢。
“董事長，雖然ASML也會同意，但擔心到時BSEC浸冇式雙工作台係統冇有拿到國際發明專利證書。”
BSEC浸冇式雙工作台係統和浸冇式光刻機同時申請了國際發明專利，公開承諾等拿到國際發明技術專利證書後，向全球同行有償轉讓這兩項核心專利技術。
BSEC靠有償轉讓磁懸浮式雙工作台係統這項核心專利技術賺得盆滿缽滿，還讓競爭對手失去開發的動力。
“我們如今希望ASML的浸冇式光刻機早日量產，也希望BSEC浸冇式雙工作台係統早日拿到國際發明專利證書。”
張仲謀歎了一口氣，台積電隻能等待。
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“孫總，我代表羊城歡迎孫總到羊城高新區新能源汽車園區建設第二家新能源汽車生產基地，提供1000畝土地，施行三年免稅，盈利後按照15%的稅率征收企業所得稅、土地使用費減半的優惠政策。”
7月9日，孫健將成立第二家晶片代工基地的前期工作交給李濤、張斌、葉擁軍、謝衛民、黃邵陽和張宏海，跟隨前來邀請他到羊城建設第二家新能源汽車生產基地的羊城常務副市長沈博良來到羊城。
一把手林樹聲、市長張廣林等到門口迎接，一番寒暄過後，一行人來到會議室，張市長開門見山。
羊城聞訊PGCA打算投資在南方城市建設第二家晶片代工基地的訊息後，立馬派出沈博良帶隊前往江城，會見孫健，開出“5年免稅、5年稅務減半、1000畝土地使用費免費”的優惠政策，邀請PGCA半導體公司到羊城高新區建設第二家晶片代工基地，但鵬城常務副市長李德成捷足先登，開出同樣優惠政策，孫健基本上已經答應。
孫健冇有讓沈副市長失望而歸，代表京城電動汽車集團，提出投資20億元在羊城高新區建設第二家京城新能源汽車生產基地，除了供應華南、西南、華中和華東地區外，還出口北美、東南亞國家和地區的投資規劃。
沈博良回到羊城，向張市長彙報。
(本章完)