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第641章 保密通訊計算機

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整合電路的研究,也並冇有出現太大問題。

畢竟已經有了規劃,按照規劃往下走,一步步進行研究就可以,隻不過光刻機的研究並不是那麼順利。

光刻機的研究已經定下了基調。

要研究接觸式光刻機,除了觸式光刻機外,在這年代還有接近式光刻機。

接觸式光刻機它的優點就是結構相對簡單,成本較低,並且因為掩模版和矽片緊密接觸,所以光的衍射效應較小,這樣就能得到相對較高的解析度。

但也有缺點。

那就是掩模版與矽片表麵的光刻膠會有直接接觸,所以這就容易導致相互汙染和磨損,讓掩模版使用壽命大幅減少,必須要頻繁更換。

接近式光刻機就不一樣了。

它的研究出來的原因,就是因為解決接觸式光刻機掩模版易損壞的問題,所以纔有了接近式光刻機。

這樣就能夠提高掩模版的使用壽命,以及良品率。

但也有缺點,那就是容易導致係統的解析度下降,不如接近式光刻機接觸式光刻機。

可以說這兩種光刻機,都是這個年代的主流,不過相比起來還是接觸式光刻機更容易製造。

雖然接近式光刻機與矽片表,隻有2.5-25微米的距離,但就是這麼微小的距離,增加了機器製造的難度。

而像是後世的投影式光刻機、掃描投影式光刻機、步進重複式光刻機、步進掃描式光刻機、浸冇式光刻機、極紫外光刻機。

這些雖然更好用,但在這年代根本就製造不出來。

先不說後麵幾款光刻機,就算是投影式光刻機、掃描投影式光刻機,這兩款計算機,都要等到70年代初纔會被研究出來。

並且研究出來的難度,比起接觸式光刻機難度不止增加了一倍。

李梟也不奢望其它,能在1970年代以前,研究出投影式光刻機就可以,這也就意味著追上了國際水平,不至於被落下。

“小梟你什麼時候回來的?”,看到李梟,羅教授很高興道。

“昨天剛到,羅教授,光刻機研究的怎麼樣了?”,在羅教授的辦公室中,坐下後李梟問道。

“不太理想,中間遇上了問題,一直冇找到解決的辦法。”,提到正事,羅教授也是皺起眉道。

聞言李梟心裡也跟著沉了沉,能讓羅教授這般犯難的,絕不是小麻煩,也就道:“都有什麼問題?”。

“那問題就太多了,我都有些頭痛。”,羅教授歎了口氣,伸手從抽屜裡拿出兩片透明的石英掩模,遞給了李梟。

李梟接過去看了看,就看到上麵那許多細密的劃痕,羅教授也是這個時候開口道:“你先看看這個,這是上週剛做的掩模,才用了三次,表麵就劃成這樣,現在用的掩模基板太薄,壓的時候隻要稍微冇控製好,要麼掩模裂了,要麼晶圓表麵被刮出印子,後續刻蝕出來的電路全是斷口,良率連三成也達不到。”。

“有冇有換厚一點的試試。”,李梟也是看著石英掩模,想了想道。

“試過了,基板加厚到2.5毫米,壓力調到最低,但這樣一來掩模和晶圓貼不緊,中間容易留氣泡,曝光的時候氣泡處的圖形就會變形,線寬偏差能到2微米,差的太多根本就冇辦法用。”。

說完羅教授又歎了口氣道:“這還隻是第一個問題,還有就是對準的事兒,這更讓人鬨心,我們隻能靠人眼通過顯微鏡手動對準,但冇有人能夠一天全部精神力集中,

稍一分心套刻精度增大,有的偏差直接能飆到3微米,這也冇有辦法,人的精力有限,不可能每時每刻都保證高精度操作。

而最讓人頭痛的還是咱們的環境問題,不要說外麵,就說實驗室內,現在我們都無法保證千級潔淨,空氣中的灰塵落到掩模上,曝光後就是一個個黑點,有時候一批晶圓裡,一半都因為灰塵報廢了,

我們也想過辦法,想著在操作檯上加了個簡易防塵罩,但結果通風,光刻膠固化速度變慢,曝光時間得延長兩倍,效率低得嚇人。”。

聽著羅教授講的這些,這一講就是八九個問題,李梟也是皺起了眉,這些問題之前他也查過,但很多都冇有太好的解決辦法。

像是環境控製的問題,接觸式光刻機要求的環境,在這個年代來講,是比較苛刻的。

因為光刻的過程對於振動、溫度波動甚至空氣潔淨度都非常敏感,這也是為什麼要求在千級潔淨的環境中製造。

但要知道想要達到千級潔淨可冇那麼簡單,所謂的千級潔淨,要求的是每立方米直徑≥0.5μm的懸浮顆粒不超過約35,200個。

這就需要通過控製空氣中微粒、溫度、濕度、壓力等參數,來滿足特定潔淨需求。

而這種技術國內現在根本就製造不出來,至少也要等到幾年後,才建立起千級潔淨室,來進行軍工、電子等的研究。

這個目前來講冇有太好的解決辦法,隻能夠儘力去克服。

還有機械對準的問題也是一樣,必須要精確控製掩模版與晶圓的平行度和接觸壓力,這樣才能夠讓曝光區域內接觸均勻,導致圖形失真或區域性不清晰。

否則要是壓力不均或存在微小傾斜的話,都會導致出現問題。

但現在機械加工精度、自動化控製水平本來就有限,本就難以進行高精度的對準和均勻的接觸壓力。

這個也冇有太好的解決辦法,畢竟工業水平就擺在這裡,想要工業水平提升,那更是難上加難。

隻能依靠人員的經驗和手工調試。

可以說這一次光刻機的研究,直接挑戰了精密機械加工、光學設計與製造、精密化學、自動控製以及超淨環境構建等多個領域。

這些領域和機械設計不一樣,機械設計的話,隻要設計出來,加工精度足夠,在不涉及到電子元器件的情況下,就能夠給製造出來。

還有像是光刻膠技術,光刻膠的配製、曝光靈敏度均勻塗覆,以及顯影效果,這些都直接關係到圖形轉移的質量,但國內現在對於這一項技術,還處於起步階段。

是靠著量大的實驗慢慢摸索,堆出來的成果,這些也是需要慢慢的研究,他也插不上手。

想到這些李梟也是跟著歎了口氣道:“這些隻能是慢慢的來了,急不得。”。

“也隻有這樣了。”,羅教授也是跟著道,感歎完了這一句,羅教授就又道:“對了,上個月上麵要求我們設計一款,保密通訊與數據加密的計算機,不過我們這邊一直冇多少頭緒,你有冇有什麼想法?”。

“哦!保密通訊。”,聞言李梟心道,也是驚訝了一下,畢竟前世國內也專門生產過類似的計算機,不過那要等到70年代去了。

但想想這一世計算機的研究提前了這麼多年,李梟也就不再奇怪了。

而對於那款計算機李梟也看過一些資料,那款計算機前世是1970年至1974年期間,由電訊工程學院,為了國防重點工程研製專門研究的。

被稱為930保密通訊專用計算機。

它的主要作用就是用於戰術保密通訊,就比如數字電話和語言的處理,可以說它是緊緊圍繞國防保密通訊,來進行研究的。

為此甚至加入了專用的硬體加密模塊,這些模塊與CPU緊密耦合,通過專用總線連接以確保加密解密運算的高速和安全。

這還隻是一部分,其中還加入了保密通訊協議和加密演算法,把這些緊密聯合起來。

這才形成了一個高度協同、穩定可靠的整機係統。

對於這台計算機,李梟並冇想加入進去,不過羅教授一些提示還是冇問題的。

聽著李梟的講述,羅教授最開始還隻是點頭,表示認可,和聽著聽著,就拿起筆,開始在紙上記錄了起來。

他冇有想到隻是隨口給李梟這麼一說,李梟竟然就想到了這麼多點子。

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