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康德對早期形而上學的批判和發展：康德表示，我們很容易將自己的主觀構想不自覺地當成絕對的客觀原理來認識的自然傾向與稟賦。這是人所不可克服的自然衝動，它促使我們總是將我們自身受到侷限的經驗作為完善的東西、也就是物自身的表象來加以表述。所以，作為非理性的形而上學就在我們普通人的日常思維中。
對“形而上學”批判的前提就是對‘知識’的反思”，或者說對知識產生前提的批判。形而上學認為知識來源於先驗而不是經驗，完全是主觀思維的產物。
他不隻是上麵談到的對形而上學的批判，他更是發展了形而上學，把其擴展到包括認識論。
黑格爾對形而上學的批判和發展：在經過柏拉圖到康德的漫長的哲學思考之後，黑格爾把形式的自在性和自為性用辯證法進行了統一，開展了對當時舊形而上學的批判。
黑格爾在康德對知性批判的基礎上，認為知性的形而上學的抽象性方法使之知性成為孤立的、靜止的，因此這是有限的方法。常被引申為形而上學是“孤立、靜止、片麵的觀點觀察事物的思維方式”這種說法。與康德把知性的有限性歸結於主觀思維之必然不同，黑格爾認為其有限性是知性本身的性質所具有的抽象的同一性所形成，黑格爾企圖用絕對理念（絕對精神）內化的具體同一性的辯證發展關係達到本體，在克服西方哲學的存在形式化上有所突破。
根據文獻形而上學條目提到，黑格爾試圖建立一個新的形而上學體係。黑格爾把形而上學看成一套體現實在的理性推演體係，是由正題、反題、合題反覆組成的辯證係統，包含邏輯學、自然哲學、精神哲學三大部分。其體係把形而上學看成對超經驗對象的研究。黑格爾的辯證法，實際是在批判舊形而上學基礎上提出的，其本身也是無法用經驗證據來驗證的，也是屬於形而上學的；比如，吉林大學哲學教授孫正聿在他的文章（“辯證法：黑格爾與後形而上學”）中將辯證法稱為“後形而上學“，並且解釋為黑格爾以辯證法改造形而上學、實現了辯證法與形而上學的“合流”。
海德格爾對形而上學的批判和發展：海德格爾認為，形而上學的問題就在於把動態的存在弄成了靜態的存在者。為了尋找各種存在者的最終根據和原因，形而上學追溯到了存在，但冇有把存在理解為動態的緣起發生過程，而是理解為永恒不變的現成本質。它因此就不但冇有展示存在，反而遮蔽了存在。
海德格爾“清楚地知道，形而上學以及在其基礎之上發展出來的近現代科學都是命運性的東西，都是人類所不能拒斥的。我們可以反思形而上學和科學的弊端，但無法拒斥形而上學和科學”。
雖然海氏在《什麼是形而上學？》中不言而喻地把自己的東西看作“形而上學”，但這種“形而上學”與傳統形而上學是有著本質區彆的（《什麼是形而上學》第二節）。在早期弗萊堡時期，海氏就已經通過“形式指引”方法而清楚地把自己與傳統形而上學區彆開來。海德格爾的新形而上學總結在其著作《形而上學導論》中。海德格爾批判了傳統的本體論為主的形而上學，並用其理論發展了形而上學。
分析哲學對形而上學的批判和反思：二十世紀的邏輯實證論者們反對某些形而上學議題。他們認為絕大多數的形而上學問題本身是冇有意義的，見維特根斯坦前期在其《邏輯哲學論》的觀點。
維特根斯坦是現代分析哲學最重要的創始人之一，也是分析主義反形而上學傳統的肇始者。其前期的哲學代表作《邏輯哲學論》對作為邏輯實證主義中堅力量的維也納學派曾產生過巨大的影響。在這部著作中，維特根斯坦首次表達了他的反形而上學思想，認為形而上學的根本錯誤在於企圖“說不可說的東西”，其結果卻是提出了一些“毫無意義的問題和命題”。維特根斯坦對傳統形而上學的這一批判，建立在他的語言圖像理論的基礎上的，在這個理論中，他首次提出了語言的界限問題並由此而表明傳統哲學的錯誤之所在。
學術界認為，對於無意義的哲學命題，就必須把它們從我們的語言係統中清除出去，而這首先是要為語言劃定一個界限。當把哲學命題從語言中清除出去之後，剩下的就隻是自然科學的命題了。維特根斯坦說，除了自然科學的命題之外，我們不要說任何其它的事情，因為“一切真命題的總和就是整個自然科學”。
以上對維特根斯坦批判的介紹，隻是他前期在其《邏輯哲學論》的觀點。但他後期的思維從其早期哲學的純粹、樸素的邏輯中，回到了現實生活的模糊性，不再持有上述觀點。維特根斯坦後期在其《哲學研究》序言中說明，在弗蘭克·拉姆齊的幫助下，認識到自己前期著作《邏輯哲學論》犯了嚴重的錯誤。然而，他也說過要把前後期著作對比，以前期著作作為背景來理解後期哲學。
以維也納學派為代表的邏輯實證主義，它是分析主義思潮中反對形而上學態度最堅決、言辭也最激烈的一個流派，代表人物卡爾納普斷然地提出了“拒斥形而上學”的口號。維也納學派受維特根斯坦《邏輯哲學論》中的經驗主義、邏輯主義的影響很大，並直接繼承了他的“形而上學是無意義的陳述”這一反形而上學的基本觀點。但在具體論證這個觀點時，他們的理論依據又有所不同。《邏輯哲學論》是從語言圖像理論出發來說明形而上學命題的無意義性的，而維也納學派主要根據可證實性原則提出了他們的“拒斥形而上學”的口號。
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